在灭火过程中，首先要确保人员安全撤离，避免人员伤亡。然后，根据火势的大小和设备的特性，选择合适的灭火方法和器材。对于小型火灾，可以使用干粉灭火器或二氧化碳灭火器进行扑灭；而对于大型火灾，则需要启动自动灭火系统或手动启动灭火装置，使用水、泡沫或其他灭火剂进行灭火。

此外，半导体工艺废气治理设备的灭火还需要注意防止火势扩散和二次污染。在灭火过程中，要密切关注火势的变化，及时调整灭火策略，防止火势扩散到其他设备或区域。同时，要采取措施防止灭火过程中产生的废水、废气等对环境造成二次污染。

为了确保灭火工作的有效性和安全性，还需要加强设备的日常维护和检查。定期对设备进行检查和保养，及时发现和排除潜在的故障和隐患，确保设备在正常运行状态下不会发生火灾事故。

总之，半导体工艺废气治理设备的灭火是一项综合性的工作，需要综合考虑人员安全、环境保护和设备特性等多个方面。通过采取有效的灭火措施和加强设备的日常维护和检查，可以确保灭火工作的有效性和安全性。