今天很多媒体群嗨清华的稳态微聚束极紫外光源SSMB-EUV极紫外光刻光源计划，改装置此前借助于德国的自由电子激光FEL做了原理性验证，并发表于《自然》杂志。据传该装置已在雄安开建，的确是一个好消息。但是不是像自媒体所言的国外又被吓尿了的一天？事情的真相我们用清华大学自己在2022年第六届EUV-FEL（极紫外自由电子激光）会议上的报告来给出事情的真相。清华在2021年和2022年都受邀做了报告。
EUV-FEL不是清华大学一家才有的买卖，也不是清华第一家提出来的，这是他们报告里提到的相关项目。第三个图才是清华的。目前的激光等离子体光刻光源的输出功率正在由250W的输出向500W迈进，但是2纳米芯片需要的1千瓦功率是极有挑战的，除了目前发现的新研究的固体激光等离子体光源之外，EUV-FEL也是备选。3.清华在一些关键设计上还是有想法的。应该乐见其成，但也不要过度拔高。还是踏实做事吧。饭要一口一口吃，给国内的科研工作者一个安静的研究空间和合适的经费，会有好消息的。
